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產(chǎn)品中心材料樣品檢測(cè)真空探針臺(tái)KT-Z160T-RL減震真空探針臺(tái)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
減震真空探針臺(tái)，配減震臺(tái)，常規(guī)搭配4探針，鍍金鎢針，探針尖10μm，搭配電子顯微鏡
product
產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | 鄭科探 |
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減震真空探針臺(tái)，
減震臺(tái)采用6mm厚1Cr17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼，均布25mm孔距M6螺紋孔，臺(tái)面布M6螺孔陣距25mm×25mm，振幅≤5um，臺(tái)面平整精度0.1mm/m2 ，表面粗糙度0.8μm-1μm， 固有頻率垂直3～6Hz 水平3～6Hz ，負(fù)載重量1200kg。
探針臺(tái)機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa，加熱臺(tái)溫度 196-350℃，探針臂精度≤0.01mm
減震真空探針臺(tái)
真空腔體 | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開(kāi)啟 | 鉸鏈側(cè)開(kāi) |
加熱臺(tái)材質(zhì) | 304不銹鋼 |
內(nèi)腔體尺寸 | φ160x90mm |
觀(guān)察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺(tái)尺寸 | φ60mm |
觀(guān)察窗熱臺(tái)間距 | 75mm |
加熱臺(tái)溫度 | ﹣196~350℃ |
加熱臺(tái)溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進(jìn)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號(hào)接頭 | SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
探針數(shù)量 | 4探針 |
探針材質(zhì) | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動(dòng)平臺(tái) | |
X軸移動(dòng)行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動(dòng)行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動(dòng)行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類(lèi)別 | 物鏡 |
物鏡倍數(shù) | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機(jī) | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調(diào)光源 | 有 |
顯示屏 | 8寸 |
放大倍數(shù) | 19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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